研制高精度的纳米级标准物质，是打造高准确度纳米测量传递链，提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。 二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数，角度绝对准确性在0.001°量级，相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。

　　二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm，在没有划伤或破坏的状况下，每次使用2μm×2μm，不重复使用测量区域次数可达20000次以上。

　　可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准；

　　也可应用于对超精密位移传感器多种参数的《开云体育平台登录入口》光栅干涉法

　　纳米级角度标准物质的研制成功，实现了纳米测量领域的扁平化计量，避免传统逐级量值传递方式造成的误差放大，能够通过在线校准直接将高精度计量数据直接传递到企业计量现场，为我国纳米制造产业高质量发展提供有力支撑。

　　第二十三条 科学技术行政部门鼓励支持具备一定科技评审力 ♌量开云体育平台登录入口、资金实力和组织保障的社会科技奖向国际化方向发展 ♐，培育具有 ❎世界影响力的国际奖项 ♉。

　　书面报告原则上应当包含征询行业管理部门或者业务主管单位 ➠等开云体育平台登录入口对设奖的指导意见和建议情况，并包括以下内容：

　　本报记者 樊能 【编辑:郭淮 】