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4.1报告期末及年报披露前一个月末的普通股股东总数、表决权 ♋恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况

作为集成电路、平面显示器件等的关键原材料，电子气体在《国家 ☸集成电路产业发展推进纲要》及《中国制造2025》等宏观政策和 ❓中长期规划的助推下，成为国家重点发展或鼓励性产业，将伴随下游♈应用领域的快速发展，市场需求显著增长。三氟化氮（NF3）作为 ♐含氟特种气体的一类，是市场容量最大的电子气体产品，其常温下具 ➧有化学惰性 ⏫，高温下则比氧气更活泼、比氟更稳定，且易于处理。三 ➦氟化氮作为微电子工业中优良的等离子体蚀刻气体，可裂解成活性氟 ♍离子，对硅和钨化合物具有优异的蚀刻速率和选择性。在蚀刻表面上 ⛵，它可以不留下任何残留物，是一种非常好的清洗剂，能对生产设备 ❧腔体的清洗起到很好的作用，在芯片制造、高能激光领域已经获得大 ♏量使用。

　　

关联交易内容：公司向其采购项目技术咨询服务。

　　本报记者 永昌 【编辑:林珊珊 】